Tómarúmmælingartækni er mikilvægur þáttur í tómarúmsvísindum og tækni, með vaxandi kröfum bæði í varnarmálum og borgaralegum geirum. Það er sérstaklega mikilvægt að mæla lofttæmisþrýsting nákvæmlega. Tómarúmmælir eru mikið notaðir í iðnaðarframleiðslu, hálfleiðarabúnaði, kjarnorkuiðnaði og öðrum sviðum. Heimsþekktir framleiðendur tómarúmsmæla eru MKS Instruments og INFICON. Það eru tvær algengar gerðir af tómarúmsmælum sem byggjast á starfsreglum þeirra: Önnur er málmrýmd lofttæmismælir, táknuð með tæknilegri nálgun MKS, og hin er keramik rýmd tómarúmsmælir, táknuð með tæknilegri nálgun INFICON. Almennt bjóða málmrýmd tómarúmsmælar betri afköst en keramik rýmdarlíkön, sem gerir þær almennt notaðar.
Skynþáttur málmrýmd lofttæmismælis samanstendur af rafrýmd uppbyggingu sem myndast af málmþind sem er um það bil 40 μm þykk og keramik rafskaut. Eins og sést á myndunum hér að ofan er málmþindið teygt með miklum spennukrafti áður en hún er soðin, sem skapar uppbyggingu sem þolir ofhleðsluþrýsting allt að hundraðföldu nafnsviðinu. Þegar lofttæmi er beitt á þindið afmyndast það og breytir rýmdinni milli málmþindarrafskautsins og keramikrafskautsins. Með því að mæla þessa rýmdsbreytingu og kvarða hana á móti stöðluðum lofttæmisþrýstingsviðmiðunum er hægt að ákvarða algert lofttæmisgildi. Til að bæta mælingarnákvæmni er getter settur inni í holrúminu.
Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. hefur sjálfstætt þróað VG750 tómarúmsmælinn, sem hefur náð frammistöðu sem er sambærileg við MKS og INFICON vörur. Það nær yfir mælisvið frá 1 Torr til 1000 Torr og hefur verið mikið notað í lotunotkun innan hálfleiðara- og kjarnorkuiðnaðarins. Frammistöðuforskriftir þess eru skráðar í töflunni hér að neðan. Áhugasamir eru velkomnir að hafa samband við okkur til reynslunotkunar.
Fyrir frekari upplýsingar, vinsamlegast farðu á heimasíðu okkar:mihuitec.com, eða skoðaðu vörusíðuna: China VG750 Metal Capacitive Diaphragm Gauge Manufacturers Suppliers Factory - Tilvitnun - Mihui Tech.
